Forscher in Berkeley wollen Mooresches Gesetz retten
Mit einem Verfahren, Chips unterhalb der 10-Nanometer-Ebene herstellen zu können, glauben Forscher an der Universität von Kalifornien in Berkeley einen Weg gefunden zu haben, das Mooresche Gesetz aufrecht zu erhalten.
- Ralph Hülsenbusch
(Bild: UC Berkeley)
Unterhalb von 35 Nanometer stößt die optische Lithographie zur Produktion von Chips an Grenzen. Das hätte zur Folge, dass das Moores Gesetz seine Gültigkeit verliert, da sich die Zahl der Transistoren auf einem Chip in absehbarer Zeit nicht mehr alle 18 Monate verdoppeln lässt, wie The Register meldete. Das könnten Forscher an der University of California in Berkeley verhindern. Mit Hilfe metallischer Linsen wollen sie Strukturen herstellen, die kleiner als 10 Nanometer sind. Dazu nutzen sie den Effekt, dass die freien Elektronen an der Oberfläche von Metallen zu schwingen beginnen, wenn sie dem Licht ausgesetzt sind. Diese sogenannten Plasmonen erzeugen kürzere Wellenlängen als das einfallende Licht.
Für den Einsatz in der Lithographie entwickelten die Forscher Plasmon-Linsen: Konzentrische Ringe auf einer Metallplatte bündeln das Licht auf winzige Löcher im Zentrum. In einem Versuchsaufbau waren diese Öffnungen kleiner als 100 nm im Durchmesser, theoretisch können sie aber bis zu 5 nm klein sein. Diese Platte mit den "Linsen" montierten die Forscher an einem Arm ähnlich dem Tonarm eines Plattenspielers. Der Kopf schwebt über dem rotierenden Material, das belichtet werden soll, auf dem sich Strukturen kleiner als 10 nm mit großer Geschwindigkeit aufbauen lassen. Damit könnte Moore's Law für eine allerdings begrenzte Zeit seine Gültigkeit behalten. (rh)
