Rastermikroskop für Terahertz-Chips

Das Institut für Elektrische Messtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik der TU Braunschweig hat ein Terahertz-Rastermikroskop und damit das erste präzise Messinstrument für 1000-Gigahertz-Chips fertiggestellt. Erst vor kurzem hatten IBM und das Georgia Institute of Technology einen 500 GHz schnellen Chip auf Silizium-Germanium-Basis – wenn auch unter Weltraumtemperatur – zum Laufen bekommen; nun bereitet das neue Rastermikroskop den Weg für die Entwicklung und Produktion von 1-Terahertz-Chips.

Eine der größten Herausforderungen bestand darin, die Elektronik bis auf wenige tausendstel Millimeter an den zu untersuchenden Chip heranzubringen. Denn nur so lassen sich die Signale aus dem Chip berührungslos messen und Datenverluste vermeiden. "Als Sensoren verwenden wir ultraschnelle so genannte Josephson-Kontakte aus Hochtemperatursupraleitern", erklärt Institutsleiter Prof. Meinhard Schilling. "Sie sind auf einer winzigen Prüfspitze angebracht und können erstmals an jedem Ort des Chips signalführende Leitungen mit höchster Präzision anfahren. Dort können sie die Signale berührungslos erkennen und sogar Frequenzen von mehreren Terahertz analysieren." Halbleiter-Hersteller Infineon will das Mikroskop jetzt erstmals einsetzen. (sun)